潔凈室的定義

微電子產業(yè)研發(fā)、生產的對象為晶圓（Wafer），晶圓在無塵工廠（Fab）里被制造（Fabrication）出來，再進行封裝測試等環(huán)節(jié)；這些生產過程對工廠空間環(huán)境要求相當嚴格，環(huán)境溫度、濕度、風速、空氣微塵含量、靜電、光照等都會影響晶圓的良率Yield）；因此，需要一個特殊的生產環(huán)境，即無塵潔凈室（Clean Room），又稱為無塵室、潔凈室或無塵車間。

潔凈室的分類方法眾多，根據(jù)研究對象的不同可以分為工業(yè)級和生物級兩大類。工業(yè)級主要用于微電子、航空航天、核工業(yè)等高科技行業(yè)，一般對空氣中懸浮粒子粒徑和濃度進行控制；生物級主要用于生物病原體研究、醫(yī)學疫苗生產等，主要控制對象為醫(yī)學微生物 。

潔凈室對室內環(huán)境要求極高，需要對室內流動空氣懸浮粒子濃度進行嚴格控制，在潔凈室的使用過程中應減少對室內空氣懸浮粒子的引入、產生及滯留，這需要對潔凈室進行定期清潔、保養(yǎng)、檢測；并對室內其他有關參數(shù)如潔凈度、室溫、濕度、靜電、氣壓等按要求進行控制；不論潔凈室外界環(huán)境如何變化，潔凈室內均能維持恒定的室內環(huán)境參數(shù)性能，以滿足科研、生產使用需求 。