潔凈工作臺校準方法

計數(shù)掃描法

當大氣層濃度足夠大(對于高效過濾器工作臺，上游粒徑≥0.5μm的氣溶膠濃度須大于等于4000個/L;對于超高效過濾器工作臺，上游粒徑≥0.3μm的氣溶膠濃度須大于等于6000個/L)時，可選擇大氣層作為過濾器檢漏的測試，不滿足上述要求時，宜使用多分散PAO-4氣溶膠，同時用激光塵埃粒子計數(shù)器的采樣器在過濾器下游側距過濾器表面20～30mm處，沿著過濾器整個出風面、過濾片的邊緣等處進行掃描巡檢，采樣流量為28.3L/min，掃描速度為15～30mm/s，激光塵埃粒子計數(shù)器所測量的結果即為過濾器下游泄漏粒子濃度。

光度計掃描法

使用多分散氣溶膠( 冷煙) 發(fā)生器向過濾器上游側發(fā)濃度為 10μg / L 的 PAO-4 分散氣溶膠微粒并將氣溶膠光度計示值標定為 100% ，同時用氣溶膠光度計的采樣探頭在過濾器下游側距過濾器出風面 20 ～ 30mm 處，沿著過濾器整個出風面、過濾片的邊緣等處進行掃描巡檢，采樣流量為 28. 3L / min，巡檢速度為 15 ～ 30mm / s，氣溶膠光度計所顯示的結果即為過濾器的穿透率。